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型号:W-357-1MQG-SKC

石英振动体清洗机

描述:石英振动体清洗机采用下一代清洗技术,实现低损害和高清洁度
2006年,第一台石英振动体超声清洗装置投入实际使用。
在这种方法中,通过在石英振动体上叠加超声波对半导体晶圆进行清洗。
与批量清洗和流水清洗相比,可以减少化学品的使用量,由于只有石英玻璃与液体接触,没有垫片等橡胶材料与液体接触,因此能保持较高的清洁度。

  • 厂商性质

    经销商
  • 更新时间

    2024-05-15
  • 访问量

    420
详细介绍
品牌本多/HONDA ELECTRONICS产地进口
清洗槽数单槽自动化程度全自动
超声波功率12Ww界面语言英文,日语
超声波频率1MHzHz内槽尺寸(长×宽×高)240x140x100 (3L) *1mm
销售区域全国外形尺寸(长×宽×高)180×250×100mm
重量2.2kg售后保修期12个月

石英振动体清洗机的特点:

对具有细微结构的晶片进行低损伤清洗

■通过在石英振动元件上叠加超声波对半导体晶片进行清洗。
将超声波振动从石英振动元件通过化学溶液传播到半导体晶片上,接触区的化学溶液振动,加速去除表面污染。
■清洁度高,对半导体晶圆的损害最小。
与使用橡胶材料(如垫片)的设备相比,使用石英与化学溶液接触,可以确保清洁,而不会有橡胶溶出。
■震荡器冷却功能通过用气体(如氮气)冷却震荡器,可以实现稳定的连续工作,没有频率波动。
冷却还能确保没有温度的突然变化,从而延长使用寿命。

用途

胶体残留物的清除
封边和灰化后的聚合物清除
栅电极极清洗
CMP后的清洗


石英振动体清洗机的参数:
类型W-357-1MQG-SKC
振荡模式单频震荡
额定输出12W
标称震荡频率1MHz
电源输入AC100V~240V
单相50/60Hz 300VA
外部尺寸
WxDxHmm
180×250×100 
(不包括凸出部分,包括橡胶脚)
质量2.2kg








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